SCG 701
将碳化硅涂层与基体材料结合,为高温工艺部件提供表面保护。
技术资料中的参数为典型值,具体性能与材料规格、使用条件有关。请联系销售确认选型。
面向氧化、扩散与热处理工艺的碳化硅陶瓷,涵盖舟、炉管、底座与环类零部件。
通过无压烧结工艺制备的碳化硅陶瓷,应用于外延基座、MOCVD 基座与加热器等部件。
采用化学气相沉积工艺制备的碳化硅材料,适用于等离子体刻蚀及快速热处理等工艺。
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