产品概述
CVD SiC 涂层石墨
微米级石墨涂层
SCG 701石墨材料采用化学气相沉积(CVD)技术在其表面沉积了一层精细的碳化硅涂层,显著提升了材料的耐用性和功能性。高纯度的碳化硅涂层不仅增强了热导率和抗热震性能,还赋予材料卓越的化学稳定性,使其在半导体制造等严苛环境中表现优异。
应用领域:EPI承载器、MOCVD承载器、加热器、均热器
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性能特点
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